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「薄膜」のキホン: 原子に迫る超微細・超高密度の世界
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わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新し ...