超精密加工学(メカトロニクス教科書シリーズ)
丸井 悦男 著
目次
1.超精密加工の背景2.超精密切削加工機3.超精密切削加工用の工具4.金属の切削機構5.超精密切削機構6.超精密研削加工および超精密研磨加工7.超精密加工のための測定技術8.表面粗さの評価
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