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「薄膜」のキホン～原子に迫る超微細・超高密度の世界～(イチバンやさしい理工系)
麻蒔 立男
著
発行年月 |
2010年09月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
１９０ｐ |
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大きさ |
21 |
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ジャンル |
和書 |
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ISBN |
9784797357134 |
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商品コード |
0110089253 |
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NDC分類 |
549.8 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0110089253 |
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著者紹介
麻蒔 立男（著者）：〈麻蒔立男〉１９３４年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。９０〜２０１０年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士。著書に「真空のはなし」など。
内容
薄膜技術の注目ポイントをやさししく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界がみえてくるのかを紹介する。
