ポリマーフロンティア２１シリーズ<br> 微細加工技術　応用編―フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用

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ポリマーフロンティア２１シリーズ
微細加工技術　応用編―フォトニクス・エレクトロニクス・メカトロニクスへの応用

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  • サイズ B5判／ページ数 208,／高さ 27cm
  • 商品コード 9784860430269
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3043

出版社内容情報

電子デバイス、光デバイス、MEMSへの適用により、化学合成、情報通信、印刷、医療分野で新たな展開をみせる微細加工技術を、今後の可能性を含めて解説。


※本書は2003年3月7日の(社)高分子学会主催『ポリマーフロンティア21　微細加工技術(応用編)』セミナーを講演録として編集したものです。


第1講　SPMを利用したナノスケールでの加工
（株）日立製作所基礎研究所　主任研究員　橋詰　富博
1.　はじめに
　1.1　概要
　1.2　研究体制

目次

１　ＳＰＭを利用したナノスケールでの加工
２　高分子材料の微細加工技術と光導波路への適用
３　立体マイクロマシニングの光ＭＥＭＳへの応用
４　マイクロ光造形法を利用した医療デバイス・化学ＩＣチップへの応用
５　インプリント技術の現状と展望
６　有機半導体トランジスタの最近の進展