出版社内容情報
第?T編 基礎編
第１章 総論 <林 輝>
1.マイクロマシン（微小機械）とは？
2.マイクロマシン研究開発の現状
3.マイクロマシンの形式
4.マイクロマシンの構成と問題点
5.マイクロメカニ力ルシステムの特徴
第２章 要素技術
第1節 電磁気現象における寸法効果
<樋口 俊郎>
まえがき
1.物理量と次元
2.電磁気現象に関する法則と材料物性
3.回転電磁モータにおける寸法効果
4.表皮効果
5.静電界における使用条件の限界
第2節 流体 <谷口 伸行>
1.液体の性質
2.非圧縮粘性流れ
3.希薄気体の力学
4.その他の流体現象
第3節 熱伝達 <土方 邦夫>
まえがき
1.基礎方程式
2.無次元量
3.微小要素の熱伝導
4.微小発熱体からの対流熱伝達
5.マイクロシステムにおける熱伝達の一例
あとがき
第4節 マイクロ熱機関 <一色 尚次>
まえがき
1.マイクロ熱機関の用途
2.マイクロエンジンの意義
3.力学的熱機関のマイクロ化の考察
4.マイクロガソリンエンジンの考察
5.マイクロスターリングエンジン
6.その他の熱機関のマイクロ化
あとがき
第5節 トライポロジー <笹田 直>
1.摩擦の基礎概念
2.摩耗と材質
3.潤滑油の問題
第３章 材料
第1節 圧電材料 <内野 研ニ>
まえがき
1.電界誘起歪の起源
2.圧電／電歪アクチュエータの分類
3.アクチュエータ用セラミック材料
4.セラミックアクチュエータのデザイン
5.アクチュエータの制御，システム化
第2節 磁歪 <江田 弘>
まえがき
1.磁歪の表示と観測
2.磁歪の発生機能
3.磁歪の原因
4.磁歪の発現
第3節 形状記憶合金（SMA）
<牛田 幸士>
まえがき
1.形状記憶効果
2.形状記憶合金の応用研究
あとがき
第4節 光アクチュエーター
<山住 修司>
まえがき
1.光歪アクチュエータ
2.ラジオメータ
3.光熱モー夕
4.光歪高分子
あとがき
第5節 ゲル <奥居 徳昌／梅本 晋>
まえがき
1.ゲルの刺激応答性
2.ゲルの応用
あとがき
まえがき
第6節 水素貯蔵合金 <小黒 啓介>
まえがき
1.水素貯蔵合金の特性
2.水素貯蔵合金の種類
3.応用分野
4.ガス圧力式水素貯蔵合金アクチュエータの構造と特徴
5.合金のマイクロ力プセル化とその成形体
6.水素貯蔵合金の薄膜化と合金膨張式アクチュエータ
第?U編 微細加工技術
第１章 機械加工
第1節 マイクロ切削 <淀野 崇>
まえがき
1.マイクロ旋削加工
2.小径穴あけ加工
3.マイクロタッピング加工の要点
4.極小モジュール，ピニオンの加工
5.複合加工応用事例
あとがき
第2節 マイクロ穴加工
まえがき
1.ツイストドリルについて
2.マイクロドリルの分類
3.マイクロドリルの動き
4.マイクロドリルによる加工
5.高精度なマイクロ穴加工
6.今後の課題
第3節 マイクロ研削 <大森 整>
まえがき
1.電解インプロセスドレッシング鏡面研削法
2.Elid研削法の効果
3.Elid鏡面研削法の位置付け
4.Elid鏡面研削法の適用
5.マイクロ形状のElid鏡面研削
あとがき
第4節 マイクロ塑性加工<青木 勇>
1.塑性加工の特徴
2.マイクロ加工におけるマイクロ塑性加工の役割と位置づけ
3.素材製造におけるマイクロ塑性加工
4.製品製造におけるマイクロ塑性加工
あとがき
第5節 粉末成形 <酒井 武明>
まえがき
1.プレス法
2.その他の加圧成形法
3.焼結機械材料
4.電磁鉄心材料
あとがき
第6節 プラスチック射出成形加工および成形品 <吉川 研一>
まえがき
1.腕時計部品のプラスチック化
2.射出成形加工
3.金型
4.成形品
5.プラスチック材料選定
6.精度
7.最新の応用例
第7節 光を利用した新しいプラスチック
加工法 <永森 茂>
まえがき
1.基本原理
2.各種のシステム
3.光を利用したプラスチック加工法の
特徴
4.マイクロマシンの設計・製作への
適用
あとがき
第２章 マイクロ電気加工
第1節 電解・放電加工 <増沢 隆久>
1.放電加工の原理とマイクロ加工の
条件
2.放電加工による凸形状の加工
3.放電加工による凹形状の加工
4.放電加工による複雑形状の加工
5.電解研磨
第2節 電子ビーム加工
<佐々木茂雄／村上 英信>
1.電子ビーム加工の特徴
2.電子ビーム加工技術
3.電子ビーム加工装置
第3節 レーザ加工 <藤森 康朝>
1.レーザとマイクロ加工
2.レーザの特性
3.微小領域へのレーザエネルギーの
集中
4.プロセスの特徴
5.実際の微細プロセス
あとがき
第4節 イオンビーム加工 <石谷 亨>
まえがき
1.集束イオンビーム（FIB）装置
2.FIB加工特徴
3.加工応用例
4.関連技術
第３章 機械部品加工ための
エッチング
第1節 湿式エッチング <藤井 定美>
まえがき
1.ケミカルエッチング
2.エレクトロフォーミング
第2節 ドライエッチング <藤井 定美>
まえがき
1.スパッタ現象
2.イオンのエネルギーとスパッタ率
3.スパッタエッチング装置
4.スパッタエッチングと反応性イオン
エッチング
5.エッチングの特性を決める要素
6.終点モニタ
第４章 真空蒸着
第1節 真空蒸着の原理・応用
<藤井 定美>
まえがき
1.真空蒸着とは
2.真空蒸着装置
3.蒸気圧と真空中での蒸発
4.蒸発源と蒸着部品の間の距離
5.蒸発源の蒸気放射特性
6.蒸着速度の制御
あとがき
第2節 蒸着法による薄膜の性質
<藤井 定美>
まえがき
1.機械的特性
2.電気的特性
3.化学的特性
4.経時変化
第５章 イオンプレーティング
第1節 原理・応用 <村山 洋一>
1.イオンプレーティングとは
2.イオンプレーティング技術
3.プラズマと気体放電現象
4.プラズマプロセスの基礎
5.プラズマ利用のデポジション
6.イオンプレーティング装置
第2節 イオンプレーティングによる薄膜
の構造と性質 <村山 洋一>
1.イオンプレーティングにおけるプラ
ズマイオンの効果
2.薄膜作製におけるイオンプレーティ
ングの効果
3.反応性イオンプレーティングにより
作製される膜
4.薄膜デバイスへの応用
5.イオンプレーティングによるプラズマ
重合膜
あとがき
第６章 CVD，気相成長法
第1節 熱CVD <澤野 清志>
まえがき
1.熱CVD法の原理
2.CVD装置
3.CVD膜の応用
第2節 光CVD <村原 正隆>
まえがき
1.光CVDの原理
2.材料ガスの光化学反応
3.膜形成とその成長
4.光CVD用光源と成膜
5.光の特徴を生かしたCVDとは
あとがき
第3節 プラズマCVD <藤井 定美>
まえがき
1.プラズマとは
2.プラズマの発生プロセス
3.プラズマ内の化学反応
4.プラズマCVD装置
5.プラズマCVDの成膜例
第７章 スパッタリング法
第1節 スパッタリング現象および
スパッタリングを用いた
薄膜形成法 <杉田 利男>
1.スパッタリング
2.スパッタリングの薄膜形成法として
の利点と欠点
3.薄膜形成に関与するスパッタリング
現象
4.スパッタリングを用いた薄膜形成
方式
5.単一組成薄膜形成方式の種類
あとがき
第2節 マイクロスパッタリング
<杉田 利男>
1.マイクロスパッタリング方式
2.マイクロデポジションの応用
3.マイクロエッチングおよびマイクロ
象眼
あとがき
第８章 エッチング
第1節 等方性エッチング <谷川 絋>
1.等方性エッチング
2.湿式エッチング
3.乾式エッチング
4.マイクロマシンでの乾式エッチング
5.今後の動向
第2節 異方性エッチング <谷川 絋>
1.異方性エッチング
2.結晶面依存性
3.エッチング溶液
4.エッチングの自動停止
5.マスクパターン補正
第９章 シンクロトロン放射光等
<豊田英二郎>
まえがき
1.半導体デバイス製造におけるリソグ
ラフィシステム
2.シンクロトロン放射光
第?V編 マイクロメカニズムの要素
第１章 総論 <林 輝>
第２章 コンベンショナルな手法による
マイクロ機械要素
第1節 伝達，締結，保持要素
【1】微小歯車 <北古賀義之>
まえがき
1.微小歯車の実用例
2.微小歯車の製作方法
あとがき
【2】ベアリング <角田 和雄>
1.機械の中の運動の形態
2.相対運動する表面を支える原理－
トライボロジー
3.玉軸受
【3】伝達用ねじ（ボールねじについて）
<井澤 實>
1.ボールねじの構造
2.ボールねじの特徴
3.ボールねじの精度と呼び方
4.ボールねじの予圧
5.ボールねじの運転性能
6.ボールねじの寿命式
7.ボールねじの基本静定格荷重
第2節 駆動要素
【1】モータ <長坂 長彦>
まえがき
1.電磁モータの分類
2.電磁形と動電形の比較
3.小形化に適したモータ構造
あとがき
【2】マイクロ機械要素としてのソレノイド <松下 英敏>
1.ソレノイドの現状
2.ソレノイドのマイクロ化の可能性
あとがき
【3】油圧アクチュエータ <中田 毅>
まえがき
1.油圧アクチュエータとマイクロメ力ニカルシステム
2.油圧アクチュエータの適用可能性
あとがき
【4】空気圧アクチュエータ <荒木 獻次>
1.空気圧アクチュエータの種類
2.空気圧シリンダ
3.空気圧揺動形アクチュエータ
4.空気圧モータ
第３章 新しい手法による機械要素
第1節 圧電アクチュエー <高橋 貞行>
1.圧電アクチュエータの種類と特徴
2.屈曲変位型圧電アクチュエータ
3.積層型圧電アクチュエータ
4.応用
あとがき
第2節 磁歪アクチュエータ<江田 弘>
まえがき
1.超磁歪材料のアクチュエータへの応用
2.デバイス設計のための考察事項
3.アクチュエータの設計例
4.アクチュエータの性能評価測定
第3節 形状記憶合金アクチュエータを用いた能動内視鏡 <生田 幸士>
まえがき
1.従来の内視鏡の問題点と能動内視鏡
2.実スケールの能動内視鏡の試作
あとがき
第4節 静電アクチュエータ<柄川 索>
まえがき
1.静電アクチュエータの歴史
2.静電アクチュエータの特徴
3.静電マイクロアクチュエータ
4.実用化への課題
第5節 超音波アクチュエータ <上羽 貞行／黒澤 実>
まえがき
1.超音波振動子
2.原理
3.動作方式と特性例
4.動作に関する詳細な検討
あとがき
第6節 高分子アクチュエータ <奥居 徳昌／梅本 晋>
まえがき
1.高分子ゲルを用いたアクチュエータ
2.高分子ゲルの膨潤／収縮特性とアクチュエータへの可能性
あとがき
第7節 水素貯蔵合金アクチュエータ <高森 年>
まえがき
1.アクチュエータの動作原理
2.アクチュエータの構造
3.アクチュエータの数学モデル
4.制御系およびアクチュエータ特性
5.ペルチェ素子を用いたアクチュエータ
6.水素貯蔵合金アクチュエータの応用
例
あとがき
第8節 流体機器 <江刺 正喜／庄子 習一>
まえがき
1.マイクロバルプ
2.マイクロポンプ
3.サンプルインジェクタ
4.超小形フローセンサ
5.集積化流体制御システム
あとがき
第４章 微小量の測定および評価
第1節 長さ <松本 弘一>
まえがき
1.レーザ光源
2.干渉縞計数型側長計
3.多波長法
4.間接的光利用法
5.補正要因
あとがき
第2節 感覚量 <山本 純雄>
まえがき
1.人間感覚および動作の基本的性質
2.人間感覚による計測
3.水中における微小粒子群様相の感覚計測
あとがき
第3節 熱 <小野 晃>
まえがき
1.微小領域の温度測定
2.薄膜・微小物体の熱物性測定・評価
3.微小欠陥の熱的測定・評価
あとがき
第?W編 マイクロメカニズム事例
第１章 センサ
第1節 機械量センサ <五十嵐伊勢美>
1.歪ゲージ
2.歪ゲージの応用
3.拡散型ゲージ（半導体歪ゲージ）
4.剪断型ゲージ
5.加速度センサ
6.シリコン加速度センサ
第2節 光関連センサ <谷田貝豊彦>
まえがき
1.光検出器
2.干渉計測
3.速度測定
4.表面計測
5.欠陥検査
6.線幅計測と精密位置決め
7.光ファイバセンサ
あとがき
第3節 バイオセンサ <軽部 征夫／須田 正之>
まえがき
1.酵素センサの原理
2.マイクロバイオセンサの研究動向
3.将来展望
第4節 半導体圧力センサとその応用 <五十嵐伊勢美>
1.基本形
2.薄形圧力センサ 3.集積化圧力センサ
4.小形圧力センサ
5.衝撃圧波の測定
6.微圧の測定
7.シリコン小型圧力・流速複合センサ
第5節 マイクロ圧力センサ <高橋 和宏>
まえがき
1.原理
2.温度補償
3.製造プロセス
4.特性
5.最近の開発動向
あとがき
第２章 マイクロメカニズム
第1節 微小移動機械
【1】微小移動装置 <本間 大>
まえがき
1.メ力ニズムと構成要素の寸法効果
2.自走マイクロメ力ニズムと使用環境
3.微小移動装置のアクチュエータ
4.エネルギー源
5.山登りマイクロメカニズムコンテスト
あとがき
【2】微小走行機械 <林 輝>
第2節 腕時計用ステップモータ <中川 安一／高倉 昭>
まえがき
1.付加機能付モータの条件
2.腕時計用ステップモータの構造
3.モータの基本原理式
4.モータの駆動
5.付加機能付モータの応用例
あとがき
第3節 静電マイクロアクチュエータ <藤田 博之>
1.摩擦との戦い
2.弾性変形するアクチュエータ
3.転がり形アクチュエータ
4.浮上形アクチュエータ
第3節 走査型トンネル顕微鏡 <渡辺 和俊>
まえがき
1.STMの原理
2.STMの測定モード
3.STMの要素技術
4.AFM（Atomic Force Microscope）
5.種々の測定例
あとがき
第5節 マイクロロボット <樋口 俊郎>
1.マイクロロボットの定義
2.マイクロロボットの構想
3.マイクロロボットの構成とその要素
4.マイクロロボットの例
5.圧電素子の急速変形を利用した
マイクロロボットアーム
第6節 マイクロマニピュレータ <松島 皓三>
まえがき
1.サーボマイクロマニピュレータ
2.マイクロマニピュレー夕のバイラテラル制御
第7節 流体集積回路 <鷲津 正夫>
まえがき
1.誘電泳動と静電配向
2.流体集積回路
3.流体集積回路の細胞操作への応用
4.DNAのマニピュレーション
あとがき
第8節 形状記憶合金を使ったマイクロメカニズム <本間 大>
まえがき
1.SMAの特性とアクチュエータの機構
2.SMAの通電加熱駆動の特性
3.メ力ニズムの小型化とSMAの特性 4.SMAを用いたマイクロメカニズム
あとがき
第9節 光学への応用 <藤田 博之>
まえがき
1.光ファイバスイッチ
2.光ファイバ駆動装置
3.ファブリペロー干渉器
4.静電マイクロサーボを利用した可変焦点ミラー
第10節 光アクチュエータ <高森 年／堂田周治郎>
1.光アクチュエータの種類
2.熱膨張型光アクチュエータ
3.化学反応型光アクチュエータ
第11節 フレキシブルマイクロアクチュエータ <鈴森 康一>
まえがき
1.構造，動作原理
2.α＝0アーム型FMAの静特性
3.α＝0アーム型FMAの動特性
4.マニピュレータへの応用
5.ロボットハンドへの応用
6.管内移動点検ロボットへの応用
あとがき
第３章 バイオ・医学用への応用
第1節 総論 <藤正 巖>
まえがき
1.医療用マイクロマシン
2.マイクロサージェリーとマイクロテレオペレーション
3.埋込み治療臓器
4.マイクロマシンピル
5.小口径治療用内視鏡
6.マイクロカプセルと体内微小物体監視システム
7.医療用マイクロマシン技術を支える共通基幹技術
8.その他の医療用ロボット
第2節 細胞 <工藤 謙一>
まえがき
1.マニュアルタイプ
2.油圧駆動タイプ
3.電磁力駆動タイプ
4.電動モータ駆動タイプ
5.圧電駆動タイプ
6.その他の駆動タイプ
7.今後の展開
第3節 植物組織培養における自動化
技術 <三輪 敬之>
まえがき
1.メリクロンロボットによる全自動苗
移植システム
2.ユリ球根の全自動組織培養システム
3.パーソナル用小型培養ロボット
あとがき
第4節 微小電極－先端薄膜マイクロ
ピペットの開発 <森泉 豊栄>
まえがき
1.TMピペット作製方法
2.TMピペットの電気特性
3.TMピペットとGMピペットの特性
およびその応用についての比較
4.TMピペットを用いたK+イオン選択性
電極の開発
5.赤血球変形能の測定
あとがき
第5節 マイクロカプセルを超音波により
計測・制御するDDS－概念設計
と基礎実験 <石原 謙>
まえがき
1.本研究の背景
2.方法
3.本研究の予想される成果
4.概念設計例
あとがき
第6節 レーザ光圧力と静電力とを組み
合わせた細胞等の操作
<水野 彰>
まえがき
1.微粒子に働く静電力および光圧力
2.光圧力，静電力による微粒子の運動
3.光圧静電微小操作（Opt-Electro-
static Micro-Manipulation）の例
あとがき
第7節 マイクロマシンの表面微細加工
技術とパターン化細胞培養技術
<松田 武久>
1.マイクロマシンの表面加工
2.バイオコロイドの表面吸着・同定・
接着制御
3.高分子表面の微細加工化学の開発
4.細胞集積技術
5.タンパク質の微細パターン化
あとがき
第8節 １対１細胞融合装置
<佐藤 一雄／河村 喜雄／田中 伸司>
まえがき
1.マイクロチャンバプレート
2.キャリアプレート
3.融合装置
4.実験結果
5.装置の性能と今後の課題
あとがき
内容説明
本書は、所謂シリコンのマイクロマシニングなどによる革新的な技術にその内容。
目次
第１編 基礎論（要素技術；材料）
第２編 微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工；機械部品加工のためのエッチング；真空蒸着；イオンプレーティング；ＣＶＤ、気相成長法；スパッタリング法；エッチング；シンクロトロン放射光等）
第３編 マイクロメカニズムの要素（コンベンショナルな手法によるマイクロ機械要素；新しい手法によるマイクロ機械要素；微小量の測定および評価）
第４編 マイクロメカニズム事例（センサ；マイクロメカニズム；バイオ・医学用への応用）
