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Ion beam assisted film growth

edited by Tadatsugu Itoh. -- Elsevier, 1989. -- (Beam modification of materials ; 3). <BB00109561>
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Ion beam assisted film growth

edited by Tadatsugu Itoh. -- Elsevier, 1989. -- (Beam modification of materials ; 3). <BB00109561>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 428.4||I 120191333 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 428.4||I
資料ID 120191333
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Ion beam assisted film growth / edited by Tadatsugu Itoh
出版・頒布事項 Amsterdam ; Oxford ; Tokyo : Elsevier , 1989
形態事項 xvii, 439 p : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0444872809
書誌構造リンク Beam modification of materials <BA00891345> 3//a
注記 Includes index
学情ID BA06776816
本文言語コード 英語
著者標目リンク 伊藤, 糾次
ｲﾄｳ, ﾀﾀﾞﾂｸﾞ <NC:DA0024200X>
分類標目 LCC:QC176.9.M84
分類標目 DC19:530.4/1
分類標目 物性物理学 NDC8:428.4
件名標目等 Thin films, Multilayered
件名標目等 Ion bombardment
件名標目等 Sputtering (Physics)
件名標目等 Semiconductor films
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