出版社内容情報
ＪＩＳ表記に準じた定評のある表組用語辞典の第４版．半導体の製造装置だけでなく，半導体の基礎事項から応用までの用語を含め統計的に解説．最新の用語の差し替えを行い，特にウエハー処理工程，検査工程，設備・環境工程用語も追加している．
内容説明
半導体デバイスを製造する７つの行程順に用語を分類、用語の追加、削除、統合を行い、２６１２語を収録した用語辞典。巻末に略語・日本語索引、英語索引が付く。
目次
第１章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章 設計工程用語
第３章 マスク製作工程用語
第４章 ウェーハ製造工程用語
第５章 ウェーハ処理工程用語
第６章 組立工程用語
第７章 検査工程用語
第８章 設備・環境工程用語
