内容説明
真空状態だと何が起こる？超高真空ってどんなこと、真空ポンプってどんなもの、真空を測る真空計って？知りたいことがよくわかる。
目次
第１章 真空っていったいどういうこと？
第２章 真空の分類とその特徴
第３章 家庭の中にある真空
第４章 真空は産業の宝箱
第５章 “真空”はどうやって作るのか
第６章 “真空”は何でどうやって測る？
第７章 これからの真空技術
著者等紹介
関口敦［セキグチアツシ］
工学院大学学習支援センター講師、客員研究員。１９５６年東京都生まれ。１９８２年青山学院大学理工学研究科化学専攻修了。２００３年青山学院大学理工学研究科化学専攻で博士論文審査に合格。博士（理学）。１９８２年日電アネルバ株式会社（現キヤノンアネルバ株式会社）入社。この間、薄膜太陽電池の製造装置、半導体集積回路素子の製造装置の研究・開発に従事。１９９０年同社より新技術事業団（現科学技術振興機構）ＥＲＡＴＯ増原極微変換プロジェクトへ研究員として出向。この間、マイクロ化学と反応場の創製の研究に従事。１９９２年アネルバ株式会社（現キヤノンアネルバ株式会社）復帰。（会社復帰後もプロジェクト終了の１９９３年まで研究推進委員として活動）。この間、半導体集積回路素子の製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタ装置、ドライエッチング装置など）の研究・開発に従事。研究・開発部門から事業部を経て、開発・事業管理部門へ移籍し最後は技術者教育部門の統括に従事。２０１６年キヤノンアネルバ株式会社定年退職。同年より現職。２０１２年～２０１９年公益社団法人日本表面真空学会（前一般社団法人日本真空学会）理事。２０１９年より理事を退任し協議員。２０１７年～２０１９年同学会教育委員会委員長、米国ＡＶＳ会員、日本化学会会員、応用物理学会会員（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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しゅわっち
