薄膜作製応用ハンドブック〈２０２０版〉

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薄膜作製応用ハンドブック〈２０２０版〉

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  • サイズ B5判／高さ 28cm
  • 商品コード 9784860436315
  • NDC分類 549
  • Cコード C3058

目次

第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特性と特徴；薄膜材料の電気特性　ほか）
第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
第３編　薄膜・表面・界面の分析・評価（薄膜・表面・界面の分析評価法；薄膜分析・評価対象各論）
第４編　薄膜技術の応用と展望（電子デバイス；光部品　ほか）