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Film deposition by plasma techniques

Mitsuharu Konuma ; : Germany, : New York. -- Springer-Verlag, 1992. -- (Springer series on atoms + plasmas ; 10). <BB00110931>
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Film deposition by plasma techniques

Mitsuharu Konuma ; : Germany, : New York. -- Springer-Verlag, 1992. -- (Springer series on atoms + plasmas ; 10). <BB00110931>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 427.6||K 120195995 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 427.6||K
資料ID 120195995
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu Konuma
出版・頒布事項 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1992
形態事項 ix , 224 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 3540540571
巻号情報
ISBN 0387540571
巻号情報
巻次等 : Germany
巻号情報
巻次等 : New York
書誌構造リンク Springer series on atoms + plasmas <BA00045760> 10//a
その他の標題 その他のタイトル:ﾌﾟﾗｽﾞﾏと成膜の基礎
ﾌﾟﾗｽﾞﾏ ﾄ ｾｲﾏｸ ﾉ ｷｿ
注記 Based on: Purazuma to seimaku no kiso / Mitsuharu Konuma. Cf. Pref
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA14397573
本文言語コード 英語
著者標目リンク *小沼, 光晴(1950-)
ｺﾇﾏ, ﾐﾂﾊﾙ <NC:DA00302633>
分類標目 LCC:TK7871.15.F5
分類標目 DC20:621.381/52
件名標目等 Thin films
件名標目等 Plasma-enhanced chemical vapor deposition
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