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神奈川工科大学附属図書館
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Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood. -- Noyes Publications, 1990. -- (Materials science and process technology series). <BB00115141>
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Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions
edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood. -- Noyes Publications, 1990. -- (Materials science and process technology series). <BB00115141>
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10件
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50件
100件
No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
2階書架
427.6||H
120236955
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
2階書架
請求記号
427.6||H
資料ID
120236955
状態
返却予定日
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0件
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書誌詳細
標題および責任表示
Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood
出版・頒布事項
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1990
形態事項
xxiii, 523 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN
0815512201
書誌構造リンク
Materials science and process technology series <BB01288122>//a
注記
Includes bibliographical references and index
学情ID
BA18754617
本文言語コード
英語
著者標目リンク
Rossnagel, Stephen M. <AU00057848>
著者標目リンク
Cuomo, J. J. <AU00057849>
著者標目リンク
Westwood, William D. (William Dickson), 1937- <AU00057850>
分類標目
LCC:TA2020
分類標目
DC19:621.044
件名標目等
Plasma engineering
件名標目等
Semiconductors -- Etching
件名標目等
Plasma etching
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