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Fundamentals of semiconductor processing technology

by Badih El-Kareh ; graphics and layout, Richard J. Bombard. -- Kluwer Academic Publishers, 1995. <BB00111749>
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Fundamentals of semiconductor processing technology

by Badih El-Kareh ; graphics and layout, Richard J. Bombard. -- Kluwer Academic Publishers, 1995. <BB00111749>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.8||E 120199682 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.8||E
資料ID 120199682
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Fundamentals of semiconductor processing technology / by Badih El-Kareh ; graphics and layout, Richard J. Bombard
出版・頒布事項 Boston : Kluwer Academic Publishers , c1995
形態事項 xii, 599 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0792395344
その他の標題 表紙タイトル:Fundamentals of semiconductor processing technologies
その他の標題 背表紙タイトル:Fundamentals of semiconductor processing technologies
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA24242438
本文言語コード 英語
著者標目リンク *El-Kareh, Badih <NC:DA03172840>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
件名標目等 Manufacturing processes
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