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The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell ; : cloth. -- Oxford University Press, 1996. -- (Oxford series in electrical engineering). <BB00113105>
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The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell ; : cloth. -- Oxford University Press, 1996. -- (Oxford series in electrical engineering). <BB00113105>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.8||C 120214937 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.8||C
資料ID 120214937
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
出版・頒布事項 New York : Oxford University Press , 1996
形態事項 xv, 536 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0195105087
巻号情報
巻次等 : cloth
書誌構造リンク Oxford series in electrical engineering <BA27380143>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA27380085
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Campbell, Stephen A., 1954- <NC:DA09805655>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
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