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ｼﾘｺﾝﾏｲｸﾛ加工の基礎

M.ｴﾙﾍﾞﾝｽﾎﾟｰｸ, H.V.ﾔﾝｾﾝ[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- ｼｭﾌﾟﾘﾝｶﾞｰ･ﾌｪｱﾗｰｸ東京, 2001. <BB00108068>
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ｼﾘｺﾝﾏｲｸﾛ加工の基礎

M.ｴﾙﾍﾞﾝｽﾎﾟｰｸ, H.V.ﾔﾝｾﾝ[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳. -- ｼｭﾌﾟﾘﾝｶﾞｰ･ﾌｪｱﾗｰｸ東京, 2001. <BB00108068>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.9||E 111285797 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.9||E
資料ID 111285797
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ｼﾘｺﾝﾏｲｸﾛ加工の基礎 / M.ｴﾙﾍﾞﾝｽﾎﾟｰｸ, H.V.ﾔﾝｾﾝ[著] ; 田畑修, 佐藤一雄訳
ｼﾘｺﾝ ﾏｲｸﾛ ｶｺｳ ﾉ ｷｿ
出版・頒布事項 東京 : ｼｭﾌﾟﾘﾝｶﾞｰ･ﾌｪｱﾗｰｸ東京 , 2001.12
形態事項 431p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4431709347
その他の標題 原タイトル:Silicon micromachining
注記 “Silicon micromachining"の翻訳
学情ID BA54870462
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Elwenspoek, Miko, 1948- <NC:DA12177823>
著者標目リンク Jansen, Henri V. <NC:DA12177834>
著者標目リンク 田畑, 修
ﾀﾊﾞﾀ, ｵｻﾑ
著者標目リンク 佐藤, 一雄(1948-)
ｻﾄｳ, ｶｽﾞｵ <NC:DA11592659>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 ｼﾘｺﾝ(半導体)||ｼﾘｺﾝ(ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ)
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