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Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications

volume editor Norbert Kockmann. -- WILEY-VCH, 2006. -- (Advanced micro & nanosystems ; Vol. 5). <BB00169433>
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volume editor Norbert Kockmann. -- WILEY-VCH, 2006. -- (Advanced micro & nanosystems ; Vol. 5). <BB00169433>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 509.6||M 120249529 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 509.6||M
資料ID 120249529
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications / volume editor Norbert Kockmann
出版・頒布事項 Weinheim, Germany : WILEY-VCH , c2006
形態事項 xxii, 507 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 3527312463
書誌構造リンク Advanced micro & nanosystems <BA70371204> Vol. 5//a
注記 Subject index: p.497-507
学情ID BA75935409
本文言語コード 英語
著者標目リンク Kockmann, Norbert <>
分類標目 SG:660
件名標目等 Chemische Verfahrenstechnik -- Mikrosystemtechnik
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