神奈川工科大学附属図書館

図解でわかる半導体製造装置

菊地正典監修. -- 日本実業出版社, 2007. <BB00167300>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.8||Z 111505210 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.8||Z
資料ID 111505210
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 図解でわかる半導体製造装置 / 菊地正典監修
ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ
出版・頒布事項 東京 : 日本実業出版社 , 2007.4
形態事項 182p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784534042170
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体製造装置 : 図解でわかる
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ : ズカイ デ ワカル
学情ID BA8177037X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菊地, 正典(1944-)
キクチ, マサノリ <NC:DA11652091>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ