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超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術

大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編. -- 大阪大学出版会, 2014. <BB01105494>
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超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術

大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編. -- 大阪大学出版会, 2014. <BB01105494>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 501.4||S 111844130 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 501.4||S
資料ID 111844130
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術 / 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編
チョウセイミツ カコウ ト ヒョウメン カガク : ゲンシ レベル ノ セイサン ギジュツ
出版・頒布事項 吹田 : 大阪大学出版会 , 2014.3
形態事項 v, 379p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784872594652
注記 参考文献あり
学情ID BB15130805
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点
オオサカ ダイガク グローバル COE プログラム コウキノウカ ゲンシ セイギョ セイゾウ プロセス キョウイク ケンキュウ キョテン <>
著者標目リンク 精密工学会超精密加工専門委員会
セイミツ コウガッカイ チョウセイミツ カコウ センモン イインカイ <>
分類標目 工業基礎学 NDC9:501.4
件名標目等 ナノマテリアル||ナノマテリアル
件名標目等 表面 (工学)||ヒョウメン (コウガク)
件名標目等 機械工作||キカイコウサク
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