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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修. -- エヌ・ティー・エス, 2017. <BB01249347>
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半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術

岡崎信次監修. -- エヌ・ティー・エス, 2017. <BB01249347>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.7||H 112062989 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.7||H
資料ID 112062989
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術 / 岡崎信次監修
ハンドウタイ ビサイ パターニング : ゲンカイ オ コエル ポスト ヒカリ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : エヌ・ティー・エス , 2017.4
形態事項 ii, x, 382, 12p, 図版vip : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 9784860434670
注記 執筆者: 岡崎信次, 柴崎祐一, 松永隆ほか
注記 文献: 各節末
学情ID BB23688949
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次||オカザキ, シンジ <AU00046148>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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