神奈川工科大学附属図書館

半導体プロセス その3

西澤潤一編 ; その3. -- 工業調査会, 1985. -- (半導体研究 22巻 . 超LSI技術 9 / 半導体研究振興会編). <BB00091633>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 その3 図書館 2階書架 549.8||H||22 111136255 0件
No. 0001
巻号 その3
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.8||H||22
資料ID 111136255
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体プロセス その3 / 西澤潤一編
ハンドウタイ プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1985.8
形態事項 7,322p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310463
巻号情報
巻次等 その3
書誌構造リンク 半導体研究 22巻 . 超LSI技術 9 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ 22巻 . チョウ LSI ギジュツ ; 9//b
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN00178154
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-)
ニシザワ, ジュンイチ <NC:DA00235944>
分類標目 NDC6:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ