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プラズマプロセシングの基礎

Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳. -- 電気書院, 1985. <BB00057773>
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プラズマプロセシングの基礎

Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳. -- 電気書院, 1985. <BB00057773>
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所蔵一覧 1件～2件（全2件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3階シラバス 427.6||C 110766342 0件
0002 図書館 3階シラバス 427.6||C 111085825 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3階シラバス
請求記号 427.6||C
資料ID 110766342
状態
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3階シラバス
請求記号 427.6||C
資料ID 111085825
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
プラズマ プロセシング ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : 電気書院 , 1985.11
形態事項 13, 391p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4485661180
その他の標題 原タイトル:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching
注記 Glow discharge processes, c1980 の翻訳
注記 参考文献: p[357]-386
学情ID BN00319697
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Chapman, Brian N. <AU00057400>
著者標目リンク 岡本, 幸雄||オカモト, ユキオ <AU00057401>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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