神奈川工科大学附属図書館

半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編

角野浩二監修. -- サイエンスフォーラム, 1993. <BB00091621>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 B1大型書架 549.8||H 111136529 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 B1大型書架
請求記号 549.8||H
資料ID 111136529
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編 / 角野浩二監修
ハンドウタイ ノ ケッショウ ケッカン セイギョ ノ カガク ト ギジュツ : シリコン ヘン
出版・頒布事項 東京 : サイエンスフォーラム , 1993.6
形態事項 365p ; 31cm
注記 執筆者:角野浩二ほか
注記 各章末:文献
学情ID BN0926373X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 角野, 浩二(1931-)
スミノ, コウジ <NC:DA05002364>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8