神奈川工科大学附属図書館

ULSIプロセス材料実務便覧

サイエンスフォ-ラム, 1992. <BB00080688>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 3階参考図書室 549.7||Y 111026472 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 3階参考図書室
請求記号 549.7||Y
資料ID 111026472
状態 禁帯出
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 ULSIプロセス材料実務便覧
ULSI プロセス ザイリョウ ジツム ベンラン
出版・頒布事項 東京 : サイエンスフォ-ラム , 1992.1
形態事項 477p ; 31cm
注記 執筆:津屋英樹ほか
注記 監修:津屋英樹
学情ID BN09666102
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 津屋, 英樹
ツヤ, ヒデキ <NC:DA07610451>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ