神奈川工科大学附属図書館

薄膜作成の基礎

麻蒔立男著. -- 第3版. -- 日刊工業新聞社, 1996. <BB00087015>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 549.8||A 111090288 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 549.8||A
資料ID 111090288
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 薄膜作成の基礎 / 麻蒔立男著
ハクマク サクセイ ノ キソ
版事項 第3版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1996.3
形態事項 357,4p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526038318
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN14295768
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男(1934-)
アサマキ, タツオ <NC:DA00869433>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 真空技術||シンクウギジュツ