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神奈川工科大学附属図書館
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フォトマスク技術のはなし : 超LSI、液晶、プリント板を支える
田辺功, 竹花洋一, 法元盛久共著. -- 工業調査会, 1996. <BB00092005>
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フォトマスク技術のはなし : 超LSI、液晶、プリント板を支える
田辺功, 竹花洋一, 法元盛久共著. -- 工業調査会, 1996. <BB00092005>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
返却予定日
予約
0001
図書館
2階書架
549.7||F
111140943
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
図書館
配置場所
2階書架
請求記号
549.7||F
資料ID
111140943
状態
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
フォトマスク技術のはなし : 超LSI、液晶、プリント板を支える / 田辺功, 竹花洋一, 法元盛久共著
フォトマスク ギジュツ ノ ハナシ : チョウLSI エキショウ プリントバン オ ササエル
出版・頒布事項
東京 : 工業調査会 , 1996.8
形態事項
262p ; 21cm
巻号情報
ISBN
4769311494
注記
参考文献: 各章末
学情ID
BN15133386
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
田辺, 功(1937-)
タナベ, イサオ
著者標目リンク
竹花, 洋一
タケハナ, ヨウイチ
著者標目リンク
法元, 盛久
ホウガ, モリヒサ
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
NDC7:549.8
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
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