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Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). -- American Institute of Physics, 1983. <SB00001614>
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Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990). -- American Institute of Physics, 1983. <SB00001614>
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No. 所蔵館 配置場所 配置場所2 請求記号 巻号 年月次 購読状況
0001 図書館 B2製本雑誌 5-8 1987-1990
No. 0001
所蔵館 図書館
配置場所 B2製本雑誌
配置場所2
請求記号
巻号 5-8
年月次 1987-1990
購読状況
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
巻次・年月次 Vol. 1, no. 1 (Jan./Mar. 1983)-v. 8, no. 6 (Nov./Dec. 1990)
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1983-1990
形態事項 8 v. : ill. ; 29 cm
その他の標題 略タイトル(雑誌書誌レコード):J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom
その他の標題 キータイトル(雑誌書誌レコード):Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Microelectronics processing and phenomena
注記 Title from cover
注記 Issued also on microfilm
学情ID AA10635106
本文言語コード 英語
刊行頻度コード 隔月刊
ISSN 0734211X
書誌変遷リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society <SB00001324>
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena <SB00002113>
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