神奈川工科大学附属図書館

Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-. -- American Institute of Physics, 1991. <SB00002113>
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No. 所蔵館 配置場所 配置場所2 請求記号 巻号 年月次 購読状況
0001 図書館 B2製本雑誌 9-25 1991-2007
No. 0001
所蔵館 図書館
配置場所 B2製本雑誌
配置場所2
請求記号
巻号 9-25
年月次 1991-2007
購読状況

書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
巻次・年月次 Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics , 1991-
形態事項 v. : ill. ; 29 cm
学情ID AA10804928
本文言語コード 英語
刊行頻度コード 隔月刊
ISSN 10711023
書誌変遷リンク 継続前誌 :Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <SB00001614>