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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00040622>
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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984. <BB00040622>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 図書館 2階書架 431.86||K 110723194 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 図書館
配置場所 2階書架
請求記号 431.86||K
資料ID 110723194
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 東京大学出版会 , 1984.3
形態事項 ix, 231p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4130610473
注記 各章末: 参考文献
注記 一般的参考書: p226
学情ID BN00164488
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 金原, 粲(1933-)||キンバラ, アキラ <AU00020281>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
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